洁净室系统竣工性能测试及单项系统测试准则

一．FFU泄漏(filter??leakage)测试?

1.?先启动待测试之FFU,并调整其风量维持在设计范围内?

2.?Particle?counter?所附之探测棒须空气过滤器下方5cm以1.5cm速度沿空气过滤器出风面作有规律扫描。

3.?每HEPA?或ULPA之出风表面均须测试。

4.?若测得其Particle超过其要求Filter之规定或出现相关之不允许Particle则说明该FFU有泄露，破坏之处须以silicon来修补。

二．FFU风速（air??flow??velocity）测试?

1.?可分层流区及非层流区来测试。

2.?须对每片filter?测量及测试不少于5个点求其平均风速值。（其四角和中心区域各测试一处）

3.?测量高度为1.2米或1.5米的假定工作面。

4.?层流区平均风速须达到0.35m/s+_20%,非层流区平均风无须达到0.45m/s+_20%.

三．FFU气流平行度(air??flow??parallelism)测试?

1.?本项目仅对全面层流区实施

2.?依高架地面或地面上方1.2米或1.5米处之丝线偏离以计算之偏离角度。

3.?偏离角度不得大于14度。

四．洁净度（Air??borne??particle??count）测试?

1.?测试前须先确定洁净室内所有工程均已完成并已经正常运转。

2.?测量高度为1.2米或1.5米的假定工作面或由业主与承商共同协商定之。

3.?测试点数不少于洁净室之面积的平方根个或由业主与承商共同协商定之。

4.?测量器具为粒子计数器（particle??counter）

五．室内压力（Room??pressurization）测试?

1.?利用微压差计由最内房间向外逐一测试。

2.?测试前确保洁净室之所有门窗等为关闭状态。

3.?每房间至少测试一点。

4.?测量高度为1.2米或1.5米的假定工作面或由业主与承商共同协商定之。

六．温湿度测试?

1.?利用温湿度计测试测试前确认风速已测试完成且空调系统运转24小时后开始测试。

2.?每个空调温控区至少有一个测试点。（原文 ）

3.?测量高度为1.2米或1.5米的假定工作面或实践的全部数量及位置可有业主与承商共同协商定之。保证每50平米至少有五个测试点。

七．环境噪音测试?

1.?利用声级计测试，每40平米及每一独立房间须测量一点。

2.?须启动洁净室所有相关空调设备，但其它设备为停止状态。

3.?所测量值不得超过设计及业主规定。

5.?测量高度为1.2米或1.5米的假定工作面或由业主与承商共同协商定之。

八．气密性(Enclosure??infilteation??leak)测试?

1.?钟对洁净室内门窗?所有建筑结构可能得缝隙及管道间与所有管线进入洁净室的接缝。

2.?可采用漏光法或感观触摸等方法检测。

九．照度测试?

1.?采用照度仪测试，所有测试点数，位置，高度可由业主与承商共同协商定之。一般为距地面1.2米或1.5米的假定工作面。

2.?日光灯系统至少运转100小时白彘灯须连续20小时以及洁净室相关设备系统至少运转2小时或室内温度已达到稳定状态后才能测试。

十．地板及墙板静电测试?

1.?采用高阻表测计，测试前须用相关溶液擦洗。

2.?地板一般测试”+”?”-“两极间距至少>=600mm,或按每36平方米一个测试点为原则进行测试。

3.?墙板一般测试”+”?”-“两极间距至少>=900mm,或按每36平方米一个测试点为原则进行测试。

4.?地板表面电阻一般为1.0*104~~1.0*106奥姆。

? 墙面电阻一般为1.0*106~~1.0*108奥姆。